SIMS、APT与半导体：CAMECA三位专家问答 - 研发世界

三位CAMECA专家在采访中探讨了SIMS（二次离子质谱）和APT（原子探针断层扫描）技术在半导体领域的应用，这些技术能够实现纳米级成分分析以优化器件性能。该讨论对半导体材料表征和工艺研发具有关键意义，有助于推动先进制程中杂质分布与缺陷的精准检测。