基于多光束激光干涉仪的空间精度补偿方法开发——Nature

基于多光束激光干涉仪，研究人员开发出一种新的空间精度补偿方法。该方法可显著提升精密测量与定位系统的准确性，对纳米制造、半导体检测等需要高空间分辨率的领域具有重要意义。