晶圆级超薄均匀范德华铁电氧化物 | 科学

该研究实现了晶圆级超薄且均匀的范德华铁电氧化物的制备，为电子器件微型化提供了关键材料突破。这一成果对铁电存储器、柔性电子及低功耗逻辑器件的发展具有重要推动作用。